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公司主要从事高端集成电路制造设备的生产、研发与销售。
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DUV

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I-Line

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G-Line

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SF

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TEL系列

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DNS系列

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卧式炉

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立式炉

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主要产品包括有DUV光刻机、匀胶显影机、溅射台、扩散炉、CVD设备、PVD设备、离子注入机、刻蚀机等半导体产线核心设备。具有4、6、8英寸晶圆全产线设备独立生产、改造能力的供应商。已为30余家各大半导体产线提供了半导体设备及产线解决方案。

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