MARK V/VZ/ MARK8,ACT 8/ACT 12, Lithius
型号:MARK V-MARK 8 型号:ACT 8-ACT 12
涂胶均匀性:≤1% 涂胶均匀性:3sigma<10nm
显影均匀性:≤0.7um 显影均匀性:3sigma<10nm
支持晶圆尺寸:4-8寸 支持晶圆尺寸:4-12寸
产率:45WPH 产率:60WPH
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