设备尺寸
1945mm×1300mm×1900mm
工作台模式
单工位曝光
适合晶圆
4/6/8寸
寻边机构
全自动
设备气源要求
正压大于0.5Mpa，负压大于55Kpa
曝光灯波长
365nm（可根据客户需求定制）
曝光灯均匀性
≥97%
分辨率
接触式：1.0μm 接近式：1.75-2.25μm （间隙小于20μm）
对位精度
±1μm
设备重量
800Kg
平均速度
100片/小时
找平机构
设备电压
AC 220V 50HZ
设备最大功率
5.5KW
曝光灯最大光功率
75mW/cm²
曝光方式
接触式/接近式
视觉标记识别尺寸
≤150μm
升降平台重复精度
真空吸盘
全自动传输显微镜
加工件
注入
量测
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薄膜设备
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