设备尺寸
1400mm×700mm×660mm
控制系统
PLC+7寸HMI触摸屏
适合晶圆
4/6/8寸
寻边机构
全自动
设备气源要求
正压大于0.5Mpa,负压大于55Kpa
选片功能
真空吸盘
自研曝光机
加工件
注入
量测
清洗
薄膜设备
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