碳化硅（SiC）真空吸盘（载台）是光刻机曝光平台的核心组件之一，主要用于晶圆的固定、定位。其性能直接影响了光刻机的套刻精度（Overlay）、线宽均匀性（CDU）等关键指标。
应用领域：
（1）产品配套设备：光刻机、量/检测设备（尺寸4”-8”)。
（2）可根据客户的不同需求，提供定制化解决方案。
全自动传输显微镜
自研曝光机
加工件
注入
量测
清洗
薄膜设备
首页
电话
留言
回到顶部